光氧廢氣除臭設備利用微波發生器發出高能電磁波激活紫外燈管使之發出高強UV紫外光，UV紫外光在擊穿臭氣分子鏈的同時，又激發空氣中的氧及水分子產生游離氧及羥基，羥基及游離氧對有機物具有極強的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有立竿見影的去除效果。由于微波電磁場、紫外光、光觸媒催化等協同效應，同時在微波能效應下，瞬間裂解惡臭氣體分子鏈轉化成CO2、H2O等，從而實現長期持續高效除臭的目標。